Un système de vide relativement complet est généralement composé de chambres à vide, d'unités de vide, de tuyaux, de vannes, de dispositifs de mesure de vide et d'autres composants de vide et de pièces de commande électriques. Dans la conception du système de vide, la structure du système et la configuration du système de vide doivent être sélectionnées en fonction des besoins réels. Les concepts communs et les états de performance incluent le degré de vide, le degré de vide ultime, le taux de fuite, le degré de vide de travail, etc.

(1) Degré de vide, qui fait référence au degré de finesse du gaz dans un état de vide, l'unité internationale est Pa (Pa), généralement également exprimée en unités de pression telles que bar et Torr. En ingénierie, le vide fait généralement référence à l'état de basse pression dans un récipient après que la pression soit inférieure à une atmosphère. Il n'y a pas de norme uniforme pour la division des régions de vide. Selon la division de l'American Vacuum Society, le vide peut généralement être divisé en 6 régions, à savoir le vide faible (105 ~ 3,3 × 103 Pa), le vide moyen (3,3 × 103 ~ 10-1 Pa), le vide poussé ( 10-1~10-4Pa), très haut vide (10-4~10-7Pa), ultra-vide (10-7~10-10Pa) et très haut vide (inférieur à 10-10Pa). Le processus de revêtement sous vide fonctionne généralement dans la plage du vide moyen ou poussé.

(2) Le degré de vide ultime, en Pa, fait référence à la pression minimale qui peut être atteinte après que le corps de la chambre à vide est évacué sans charge. Le degré de vide ultime est affecté par des facteurs tels que la pression ultime de l'unité de vide, la vitesse de pompage effective, le taux de fuite du système de vide et le dégazage de la paroi de la cuve, et la mesure est généralement effectuée après 24 heures d'aspiration continue. L'indice de vide ultime doit être déterminé en fonction de la plage de pression de travail requise par le processus. Habituellement, plus le vide ultime du récipient est élevé, meilleures sont les performances du système de vide et il est plus propice d'atteindre rapidement le fond de travail requis. conditions de vide.

(3) Taux de fuite, aussi appelé taux de fuite d'air, en Pa·L/s. Fait référence au débit de gaz à travers la fuite lorsque le gaz s'écoule de l'extrémité haute pression à l'extrémité basse pression dans des conditions spécifiées. Que les fuites du corps de la chambre à vide soient un concept relatif et qu'il n'y ait pas de corps de chambre à vide absolument "étanche". Testez le taux de fuite après la détection de fuite de vide, s'il est inférieur à la valeur de taux de fuite maximale autorisée, il peut considérer que le récipient est étanche. Dans les équipements de revêtement, le taux de montée en pression ou le taux de fuite statique est souvent utilisé pour mesurer le taux de fuite du corps de la chambre à vide. Le taux d'augmentation de pression signifie que le récipient est isolé de l'unité de vide après qu'il a été pompé jusqu'à un certain degré de vide, et l'augmentation de pression dans une certaine période de temps est mesurée ; L'unité de vide est coupée, puis le rapport de la différence de pression au temps en une heure est mesuré et calculé. Par conséquent, dans le processus de conception et de fabrication de l'équipement de vide, il est nécessaire de réduire le taux de fuite et d'améliorer autant que possible le degré de vide ultime pour garantir les performances du système de vide. Un bon indice de performance du vide est la base essentielle pour garantir l'effet du processus, et il est d'une grande importance pratique de faire un bon travail dans la détection des fuites du système de vide. À l'heure actuelle, il existe de nombreuses méthodes de détection des fuites, telles que la méthode de détection des fuites sous pression, la méthode de détection des fuites sous vide, la méthode de détection des fuites par jauge à vide, etc., qui doivent être sélectionnées et utilisées en fonction des besoins réels du projet. Pour le corps de la chambre à vide et le système de conduites recouverts de grandes lampes automobiles, un détecteur de fuite à spectromètre de masse à l'hélium peut être utilisé pour détecter la fuite du corps de la chambre à vide. Ce n'est qu'en mettant en œuvre des mesures de contrôle de qualité strictes dans le processus de fabrication, telles que le traitement, le soudage, l'étanchéité et l'assemblage, que de bonnes conditions de travail pour le processus de revêtement peuvent être créées.

(4) Degré de vide de travail, l'unité est Pa. Le vide de travail du revêtement fait référence à la plage de pression de gaz dans la chambre à vide pendant le processus. Il est généralement affecté par des facteurs tels que la pression finale de la chambre à vide, le taux de fuite, la vitesse de pompage effective de l'unité, le volume de dégazage dans le conteneur et le débit du gaz de travail. Dans des circonstances normales, le vide de travail doit être inférieur de 1 à 2 ordres de grandeur au vide ultime. S'il est choisi pour être proche du vide ultime, le processus d'acquisition du vide fera perdre beaucoup de temps et l'effet économique sera médiocre. Une fois le corps de la chambre à vide et le processus de revêtement déterminés, les performances de pompage de l'unité de vide ont le plus grand impact sur le degré de vide de travail. Par conséquent, une unité de vide appropriée peut être sélectionnée pour obtenir une efficacité de travail plus élevée.

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